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나노구조/기능 디바이스 형성을 위한 전해/무전해 프로세스
Electrochemical and electroless deposition processes for fabrication of Nano structures and devices
등록
:
2008.08.02
⋅ 39회 인용
출처
:
표면기술
, 53권 12호 2002년, 일어 5 쪽
분류
:
연구
자료
:
있음(다운로드불가)
저자
:
Takayuki HOMMA
1)
Hideo HONMA
2)
기타
:
자료
:
분류 :
나노구조
⋅
MEMS
⋅
다마신
⋅
목록
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자료요약
카테고리 :
도금자료기타
| 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2021.01.17
나노구조 형성방법으로 전해/무전해 공정의 특징과 실제예를 소개하고, 고밀도 실장기술과 다마신 프로세스,
MEMS
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