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환원제로 Co(II)-에틸렌디아민을 사용한 무전해 구리 석출의 자기 어닐링에 대한 Pd 활성화의 효과
Effects of Pd activation on the self annealing of electroless copper deposition using Co(II)-ethylenediamine as a reducing agent

등록 2008.08.16 ⋅ 57회 인용

출처 J. Vac. Sci. Technol., Mar/Apr 2005, 영어 5 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2022.02.10
우리는 환원제로 Co(II)-에틸렌디아민을 사용하여 무전해 구리 Cu 도금에서 자체 어닐링에 대한 팔라듐 Pd 활성화의 효과를 조사하였다. Pd 입자의 크기와 개체수는 Pd 이온 농도와 활성화 시간에 의해 제어되어 면저항의 변화를 초래하였다. Pd 입자의 개체수가 적은 반면 109cm-2d 는 후속 무전해 도금에서 완전히 연속적...

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