미소 장치 생산의 니켈-텅스텐 NiW 합금 전착의 전해의 고려 사항
니켈-텅스텐 Ni-W와 같은 진화하는 부반응은 깊은 미세 매립형 전극에 문제가 될수있다. 딥 리세스 도금에 대한 기존 도금조의 적응성을 제한하는 요인은 유체 역학적 조건의 변화이다. 구연산-암모늄 전해질에서의 Ni-W 전착의 경우, 버퍼링 용량과 펄스도금이 부반응에 수반되는 국소 pH 상승을 회피...
합금/복합
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Materials science · 9권 4호 2003년 · H. Cesiulis ·
E. J. Podlaha-Murphy
참조 45회
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