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검색글 Robert J. Small 1건
반도체 화학세정기술동향

등록 2014.03.12 ⋅ 33회 인용

출처 semipark, 5월 16일 2002년, 한글 13 쪽

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자료요약
카테고리 : 전후처리통합 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2014.08.20
반도체 제조공정에서 첨단 소자 설계채택과 구리/저유전절연막의 통합이 진행되면서 호환가능한 새로운 세정화학액의 필요
  • 귀금속도금은 전자공업용, 장식용으로 넓게 사용되고 있어, 고가인 금도금 현황과 금후과제에 관한 설명
  • BOSS ^ Benzyl methyl alkynol pyridine inner salt CAS 8144-00-1 황색~갈색의 액상 80% 이상 BOSS는 불포화 피리딘염으로 니켈도금의 2차 광택ㆍ레벨링제의 기본적 원료로...
  • 귀금속 도금 ^ Noble Metal Plating 귀금속은 자연에 희귀하게 존재하는 값어치 있는 금속으로 일반금속과 달리 쉽게 산화되지 않는다. [금도금] [로듐도금] [루테늄도금] [...
  • 금 이온은 차동 펄스 스트립 전압전류법으로 측정할 수 있다. 0.1 mol/dm3 NaOH 를 함유한 0.9 mol/dm3 KCN 용액을 지지 전해질로 사용하였다. 용액 내 금 이온 농도 27.5~1...
  • 고농도 또는 저농도의 시안화금용액 및/또는 금 슬러지에서 금을 전기로 회수하고 회수된 금을 금광 자체에서 금 (합금) 전기주형 또는 전극으로 전환하는 것이다. 이러한 ...