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무전해 구리 석출에 영향을 미치는 욕 조건 - 평가
Bath Parameters Affecting Electroless Copper Deposition - A review

등록 2014.06.20 ⋅ 27회 인용

출처 IJRS, 3권 4호 2014년, 영어 15 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.03.07
구리의 무전해도금은 높은 선택성, 매우 얇은 시드층의 사용에 우수한 스텝커버리지, 우수한 트렌치 충전용량 및 웨이퍼의 전기적접촉에 대한 필요가 없기 때문에 구리 리트로 도금보다 더 매력적인 공정으로 간주된다.
  • 이온강도를 무시한 단순한 황산구리용액을 이용하여, 분극에서의 용존산소의 영향을 조사하고, 탈산소계의 펄스전해의 전류효율과 전석, 용해결정면에서의 자장의 영향...
  • 본질적으로 광택면을 도금할수 있는 니켈도금액의 도입은 그 이후로 이전의 일반적인 도금후 연마 및 '색상'작업이 거의 필수적인 것이 아니었기 때문에 주요 혁신이었다. ...
  • 다양한 탈지 기술의 탈지 메커니즘, 탈지 방법, 일반적인 공정 및 탈 지율 테스트 방법을 검토하였다. 다른 프로세스와 메커니즘에 따라 환경 보호 탈지 기술의 현재 상황과...
  • 인의 옥소산으로 올소인산, 아인산, 하이포 아인산염을 들수 있고 더욱 올소인산의 축합체로서 피로인산, 트리폴리인산 등의 축합 인산이 존재한다. 예를 들어 차아인산염은...
  • 경질 알루마이트 ^ Hard Alumite ^ Hard Aluminium Oxide Coating 피막경도 Hv 400 이상 피막내부의 경도가 크다 내마모성을 가진 강한 알루미늄 산화피막 ([알루마이트]) ...