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무전해 구리 석출에 영향을 미치는 욕 조건 - 평가
Bath Parameters Affecting Electroless Copper Deposition - A review

등록 : 2014.06.20 ⋅ 17회 인용

출처 : IJRS, 3권 4호 2014년, 영어 15 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.03.07
구리의 무전해도금은 높은 선택성, 매우 얇은 시드층의 사용에 우수한 스텝커버리지, 우수한 트렌치 충전용량 및 웨이퍼의 전기적접촉에 대한 필요가 없기 때문에 구리 리트로 도금보다 더 매력적인 공정으로 간주된다.
  • 새로운 팔라듐-니켈 합금도금액은 높은 전류밀도에서 우수한 광택의 균일한 전착막을 제공한다. 팔라듐-니켈 합금 도금액은 수용성 팔라듐 염, 수용성 니켈염, 암모니아, 암...
  • 표면 전처리는 알루미늄 (Al) 의 표면 개질을 위한 중요한 처리 중의 하나이다. 이 연구에서 Al 표면의 전처리는 3단계로 이루어진다. (1) 세정(연마 및 탈지), (2) 화학적 ...
  • 인류의 공통과제인 환경문제, 상용전력을 사용하는 수요가의 규제 동향등 배경을 설명하고, 효율 역율과 구체적인 관리 포인트를 소개
  • 염화철 · Iron chloride 염화철(Ⅲ) / 염화제2철 CAS No FeCl2 = g/mol 물 알코올 등에 용해 담록색의 4수화물은 조해성 결정이며 철 또는 수산화철(Ⅱ)을 염산에 녹인 산성용...
  • 옥시산-구리 착화 전해액에 관하여, 종합적으로 pH 안정성등을 조사하고, 철소지상에 우수한 밀착성을 가진 구리도금을 위한 착화욕을 만들고 전해 조건등을 실험