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알칼리 Alkali 물질이 포함되지 않은 화학물질을 이용한 코발트 Co 합금박막의 무전해도금
Electroless plating of Co-alloy thin films using alkali-free chemicals

등록 2008.12.10 ⋅ 59회 인용

출처 화학공학, 45권 6호 2007년, 한글 5 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 도금자료기타 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.02.08
알칼리 물질이 포함되지 않은 화학물질을 사용하여 구리배선의 보호막 제조를 위한 코발트 Co 합금박막의 무전해도금을 수행 하였다. pH, Co 전구체 농도, 전착온도 등의 공정변수들의 변화에 대한 Co 합금박막의 두께와 표면형상을 살펴봄으로써, 각각의 공정변수가 알칼리 물질이 포함되지 않은 화학물질로 무전해도금...

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