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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

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합성 석영소재 포토마스킹의 습식에칭의 적용
Wet Etching of Synthetic Quartz Substrate for Photomask Application

등록 2014.09.10 ⋅ 21회 인용

출처 표면기술, 55권 8호 2004년, 일어 6 쪽

분류 해설

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기타

合成石英基板フォトマスクへの湿式エッチングの適用

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.12.14
글라스 소재를 에칭시 노광광에 위상차를 가진 특수한 레벤손형 위상 시프트 기술중, 웨트 에칭에 의한 패턴 프로필의 형성제어가 불가능하여, 포토에칭을 사용한 첨단 포토 마스크제조의 현황에 관하여 소개하였다.
  • 나노입자의 공석기구에 관하여, 최근검토결과를 중심으로 해설하고, 도금의 은 Ag 나노입자의 조성과 구조 및 회전원판 전극을 이용한 대류를 억제하는 조건의 정전위전극에...
  • MSA 주석도금액 분석 ^ MSA Tin Plating Bath Analysis|1| Sn 분석 도금액 2 ㎖ 를 정확히 코니컬 비이커에 취한다 물 100 ㎖ 와 20 % HCl 10 ㎖ 를 가한다 [로셀염] 5 g 을...
  • 부식과의 지속적인 전투에서 여러 다른 합금이 상업적으로 사용되고 있다. 코발트, 철, 니켈 및 주석과 결합된 아연 합금은 시판 중이다. 모두 크롬산염 변환피막을 사용한...
  • Fe-36 wt.% Ni (Invar 합금) 의 펄스전류 전착을 수행하여 전착 피막의 미세구조에 대한 사카린의 영향을 조사했다. 전해액에 사카린이 없는 전착은 전착과정에서 발생하는 ...
  • 금합금 도금 ㆍ Gold Alloy Plating 금의 [전기도금]은 24K 순금도금에서 14K 합금까지 폭넓은 [합금도금]이 가능하며, 종류도 많다. 적색금인 [핑크골드도금|핑크 골드도금...