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전주기술을 사용한 MEMS
MEMS using the electro-forming

등록 2008.08.04 ⋅ 62회 인용

출처 표면기술, 55권 4호 2004년, 일어 6 쪽

분류 연구

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저자

기타

電鋳技術を用いたMEMS

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자료요약
카테고리 : 전기도금기타 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2015.08.25
미세금형등의 제작에 이용되는 마이크로머신기술에 관하여 설명하고, 반으예와 최신의 MEMS에 있어서 전주기술에 관하여 소개