로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 10967건

습식도금 자료분류

자료수 10968 건

추천글

Tag LIST

ULSI 배선상의 무전해니켈 도금에 의한 베리어 메탈의 형성
Formation of Barrier Metal Using Electroless Nickel Deposition on ULSI Wiring

등록 : 2014.11.17 ⋅ 9회 인용

출처 : 일렉트로닉스실장학회지, 4권 4호 2001년, 일어 4 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

ULSI 配線上への無電解ニッケルめっきによるバリアメタルの形成

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.11
현재 베리어층으로 사용되고 있는 질화규소 SiN 막의 대체로, 무전해니켈 합금도금을 이용한 50 nm 정도의 피막을 독립화한 구리의 패턴위에 성막하여, 소위 캡메탈 형성에 관하여 검토

연관글

  1. 연구문헌자료.. 무전해 니켈 도금의 내식성에 대한 욕노화의 영향
  2. 연구문헌자료.. 산성 무전해니켈 도금 복합 광택제 및 그 사용 방법
  3. 연구문헌자료.. 플렉스 회로용 연성 무전해 니켈을 사용한 ENIG
  4. 연구문헌자료.. 폴리이미드에 무전해 도금 기술의 실용화
  5. 연구문헌자료.. 유기적으로 안정화된 무전해 니켈을 사용한 운영 경험
  6. 연구문헌자료.. CaCO3 분말 표면에 대한 무전해 니켈 도금 방법
  7. 도금재료 카타록/TDS.. LEN 193 / Electroless Nickel
  8. 연구문헌자료.. 시라스의 공업적 이용에 관한 연구 (제11보) - 시라스 발룬의 무전해니켈도금
  9. 연구문헌자료.. 구연산을 착화제로한 화학니켈 도금욕의 폐액처리
  10. 도금재료 카타록/TDS.. TAILORCOAT® ENiP Tribology Solutions