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ULSI 배선상의 무전해니켈 도금에 의한 베리어 메탈의 형성
Formation of Barrier Metal Using Electroless Nickel Deposition on ULSI Wiring

등록 2014.11.17 ⋅ 44회 인용

출처 일렉트로닉스실장학회지, 4권 4호 2001년, 일어 4 쪽

분류 연구

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기타

ULSI 配線上への無電解ニッケルめっきによるバリアメタルの形成

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자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.11
현재 베리어층으로 사용되고 있는 질화규소 SiN 막의 대체로, 무전해니켈 합금도금을 이용한 50 nm 정도의 피막을 독립화한 구리의 패턴위에 성막하여, 소위 캡메탈 형성에 관하여 검토
  • 페라이트 · Felite Fe2O3 와 NiO 를 혼합하여, 미립쇄성형 소결한 것이 니켈 페라이트로 고전압 전해에 강하다. [흑색크롬도금|흑색크롬 도금]과 금속의 전해회수ㆍ음극 전...
  • 구연산 · Citric acid 과일류에서 주로 발견되는 약산성의 유기산이다. 착화제로 도금산업에서는 [무전해니켈도금]ㆍ[금도금]ㆍ[합금도금] 등의 도금욕 [착화제]로 사용된다...
  • 무전해 니켈 도금은 응용 분야에서 고유한 특성을 가지고 있다. 그러나 상대적으로 짧은 액수명과 품질의 변화로 인해 안정적인 작업이 어렵다. 맞춤형 전기 투석 시스템으...
  • 붕불화욕중에 동이온이 25 g/l까지 되어, 함량이 반정도 될때까지 불용성 양극을 사용하려고 합니다. 사용가능 합니까?
  • 산성 황산구리도금의 첨가제 조성과 연구상황을 소개하였고, 첨가제간의 상호작용을 분석하였다. 최근연구는 완벽한 성능의 저렴한가격의 복합 첨가제를 찾는것 으로 생...