로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 일렉트로닉스실장학회지 33건

습식도금 자료분류

자료수 11117 건

추천글

Tag LIST

ULSI 배선상의 무전해니켈 도금에 의한 베리어 메탈의 형성
Formation of Barrier Metal Using Electroless Nickel Deposition on ULSI Wiring

등록 2014.11.17 ⋅ 42회 인용

출처 일렉트로닉스실장학회지, 4권 4호 2001년, 일어 4 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

기타

ULSI 配線上への無電解ニッケルめっきによるバリアメタルの形成

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 ⋅ ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.11
현재 베리어층으로 사용되고 있는 질화규소 SiN 막의 대체로, 무전해니켈 합금도금을 이용한 50 nm 정도의 피막을 독립화한 구리의 패턴위에 성막하여, 소위 캡메탈 형성에 관하여 검토

연관글

  1. 연구문헌자료.. 형광 XRF 두께측정기를 이용하는 프린트 기판 상의 무전해 Ni/Au 도금 피막의 도금 두께와 P 농도의 동시 측정
  2. 연구문헌자료.. 3차원 구현 TSV를 향한 무전해 도금 배리어 막 형성과 그 위의 직접 무전해 Cu 도금
  3. 연구문헌자료.. 화학물질 감소에 의한 철강의 니켈 도금
  4. 도금재료 카타록/TDS.. NiKlad ELV Electroless Nickel Coatings
  5. 연구문헌자료.. 납 및 카드뮴이 없는 무전해 니켈의 고성능 특성
  6. 연구문헌자료.. 무전해 니켈 석출의 내식성에 대한 액 노화의 영향
  7. 연구문헌자료.. 산성 무전해니켈 도금 복합 광택제 및 그 사용 방법
  8. 연구문헌자료.. 플렉스 회로용 연성 무전해 니켈을 사용한 ENIG
  9. 연구문헌자료.. 폴리이미드에 무전해 도금 기술의 실용화
  10. 연구문헌자료.. 유기적으로 안정화된 무전해 니켈을 사용한 운영 경험
  • 알칼리 징케이트 전기도금용 광택제, 시안화물 또는 비시안화물 도금액을 공개하였다. 광택제는 알킬렌아민의 반복 단위를 특징으로하는 중합체이며, 여기서 질소원자는 화...
  • 분광광도계에 의한 일반적인 분석의 지식에 관하여 설명하고 크로메이트 피막에서 6가크롬을 압출하는 전처리방법에 관하여 설명 [分光光度計を用いたクロメート皮膜中の6価...
  • Berol LFG 61과 Berol DGR 81, 두 가지 세척제 성분의 개발 결과를 보고하였다. 이 두 성분은 사용 시 매우 다른 거동을 보이며, 까다로운 용도에서 성능을 향상시킬 수 있...
  • 하스텔로이의 전처리 ^ Pretreatment of Hastelloy 하스텔로이는 니켈·몰리브덴ㆍ탄소ㆍ철을 함유한 함금으로 미국의 헤인스 사티라이트 사의 상품명이다. 이 합금은 고온에...
  • Taguchi 디자인과 ANOVA 를 통해 폴리에스터 피복사 복합직물을 사용한 무전해니켈 도금 구리코어의 전자파 차폐 효과에 대한 연구를 보고되었다. 이러한 전도성 복합 직물...