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펄스도금에 의한 결정/비정질 Co-Fe-P 연자성 다층막의 제작
Crystal/Amorphous Multilayered Co-Fe-P solft magnetic films prepared by pulsating current

등록 : 2008.08.11 ⋅ 31회 인용

출처 : 표면기술, 48권 4호 1997년, 일어 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

HIsami YUMOTO1) Touru IMAMOTO2) Yoshinori KINASE3) Song ji LI4) Masatou ISHIHARA5) Mitsumasa OSHIKI6)

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자료요약
카테고리 : 합금/복합 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.01.09
직류도금법으로 코발트-철-인 Co-Fe-P 박막을 만들어, 결정상과 비정지상이 성막가능한 조건을 밝기고, 펄스도금법에 의한 결정상과 비정질상이 되는 다층막을 만들어, 자기특성의 개선을 실험
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  • 1950년대부터 시작된 도금기술은 환경문제, 경제성 등으로 어려움을 겪고 있으나 박막기술은 첨단산업의 추세에 맞추어 기술발전이 극대화되고 시장도 급속히 성장하고 있다.
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  • 최근의 일렉트로닉스 단결정재료의 주역인 실리콘웨이퍼의 화학적 기계연마 기술과 요구되는 품질에 관하여 간단한 소개와 현황의 기술적과제에 관하여 설명