로그인

검색

검색글 10976건
화학 기계 연마
Chemcial mechanical polishing technology for silicon wafer

등록 : 2008.09.03 ⋅ 42회 인용

출처 : 표면기술, 49권 9호 1998년, 일본어 5 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
자료요약
카테고리 : 연마/연삭 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.12.28
최근의 일렉트로닉스 단결정재료의 주역인 실리콘웨이퍼의 화학적 기계연마 기술과 요구되는 품질에 관하여 간단한 소개와 현황의 기술적과제에 관하여 설명