로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 11108건

습식도금 자료분류

자료수 11109 건

추천글

Tag LIST

알칼리 포스트 화학기구 연마 세척액에 있어서 구리 부식억제제로서 피라졸의 연구
Study of Pyrazole as Copper Corrosion Inhibitor in Alkaline Post Chemical Mechanical Polishing Cleaning Solution

등록 2015.08.15 ⋅ 56회 인용

출처 Soli Stat Scie and Tech, 3권 10호 2014년, 영어 5 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

기타

Solid State Science and Technology

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 ⋅ ⋅ ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.07.11
마이크로 일렉트로닉스 제조에서, CMP 공정후 구리 인터커넥트상에 남아있는 유기오염물 및 입자를 제거하기 위해서는 사후 화학적 기계적 연마 CMP 세정이 필요하다. 그러나 크리닝 솔루션을 사용하면 인터커넥트의 부식 및 오목성으로 인해 심각한 신뢰성 문제가 발생한다. 피라졸은 pH 14 에서 테트라메틸 암모늄하이드록...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 황산 용액에서 구리의 부식 방지제로서 할로겐 치환 피라졸로피리미딘 유도체
  2. 연구문헌자료.. 금은화 제품에 모노옥타데칸티올 필름 적용
  3. 도금기술노트.. HEDP
  4. 연구문헌자료.. 염산 용액에서 알루미늄 합금에 대한 트리아진디토일의 부식 억제
  5. 연구문헌자료.. HCl 매체에서 탄소강에 대한 새로운 계면활성제 TL-16의 부식 억제
  6. 도금기술노트.. 톨릴트리아졸
  7. 연구문헌자료.. 염화물과 알칼리욕에 있어서 알루미늄 및 그 합금의 유기 부식식 억제제 : 평가
  8. 연구문헌자료.. 염산에대한 연강의 부식억제제로서 페닐티오우레아의 분자 구조
  9. 도금기술노트.. BTL
  10. 연구문헌자료.. 친환경 무전해 구리 나노 박막 석출에 대한 아졸 안정제의 영향
  • 양극보 (陽極褓) · Anode Bag 도금 작업중 양극이 용해 될때, 양극 용해후 녹지 않은 슬라임 (찌꺼기)이 피도금물에 영향을 받지 않도록 양극에 쒸운 내약품성의 보호포를 ...
  • K-TECH TRI BLUE 48 (also Part A Yellow 120) baths can be managed for a longer period of months without being discarded as it has a longer operating period compar...
  • 헐셀 · Hull Cell [헐셀시험]은 도금액의 시험에 가장 많이 이용하는 방법으로, 도금액중의 주성분·광택제·첨가제 등의 변화와 영향, 욕온도와 ㏗·전류밀도 등의 작업조건의...
  • 스테인리스강은 녹이없는 강으로, 공업장치등의 일반 대중용품까지 폭넓게 이용되고 있다. 불수라는 스테인리스강도 심한부식이 일어나지 않는다면, 밀착성이 좋은 도금도 ...
  • ABS
    ABS 수지 ^ acronitrile-butadiene-styren resin 뛰어난 성형성과 2차 가공성을 갖고 있으며 용도에 따라 많은 그레이드 (종류) 로 나누어지고 있다. ABS수지는 아크로니트...