로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 10998건

습식도금 자료분류

자료수 10999 건

추천글

Tag LIST

알칼리 포스트 화학기구 연마 세척액에 있어서 구리 부식억제제로서 피라졸의 연구
Study of Pyrazole as Copper Corrosion Inhibitor in Alkaline Post Chemical Mechanical Polishing Cleaning Solution

등록 : 2015.08.15 ⋅ 45회 인용

출처 : Soli Stat Scie and Tech, 3권 10호 2014년, 영어 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

Solid State Science and Technology

자료 :

분류 :
⋅ ⋅ ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.07.11
마이크로 일렉트로닉스 제조에서, CMP 공정후 구리 인터커넥트상에 남아있는 유기오염물 및 입자를 제거하기 위해서는 사후 화학적 기계적 연마 CMP 세정이 필요하다. 그러나 크리닝 솔루션을 사용하면 인터커넥트의 부식 및 오목성으로 인해 심각한 신뢰성 문제가 발생한다. 피라졸은 pH 14 에서 테트라메틸 암모늄하이드록...

연관글

  1. 도금기술노트.. HEDP
  2. 연구문헌자료.. 염산 용액에서 알루미늄 합금에 대한 트리아진디토일의 부식 억제
  3. 연구문헌자료.. HCl 매체에서 탄소강에 대한 새로운 계면활성제 TL-16의 부식 억제
  4. 도금기술노트.. 톨릴트리아졸
  5. 연구문헌자료.. 염화물과 알카리욕에 있어서 알루미늄 및 그 합금의 유기 부식식 억제제 : 평가
  6. 연구문헌자료.. 염산에대한 연강의 부식억제제로서 페닐티오우레아의 분자 구조
  7. 도금기술노트.. BTL
  8. 연구문헌자료.. 친환경 무전해 구리 나노 박막 석출에 대한 아졸 안정제의 영향
  9. 연구문헌자료.. 농황산 산세욕과 3-아미노-5-메르캅토1,2,3-트리아졸에 의한 그 억제에 있어서 고 장력강의 부식
  10. 연구문헌자료.. 산성욕에 있어서 연강에 대한 신규 세미카바존의 부식 억제 특성의 연구
  • 무전해 주석도금의 특성을 확인하기 위해 염화콜린 (ChCl) 계 이온성 액체 (IL) 를 전해질로 사용하였다. 빙점, 점도, 전도도, 개방회로 전위 및 도금 두께를 포함하여 ChCl...
  • 자기특성을 지배하는 각인자의 불명확성을 전착으로 만든 자성선의 자장-자속밀도 관계특성곡선 (히스테리시스 루프) 상의 특성치와의 상관성에 관하여 설명
  • 양극산화는 알루미늄 표면이 산화되어 알루미늄 산화물의 다공성 필름을 생성하는 전기화학 공정이다. 이 피막의 특성은 알루미늄의 외관을 향상시킨다. 피막은 다공성이기 ...
  • GEOMET® 500은 파스너 및 각종 금속부품에 부식방지를 위해 적용되며 많은 산업분야에서 사용되고 있습니다. 얇은 건조 필름, 무전해, 자체 윤활 수성 화학 바인더의 부동태...
  • 개선된 구리도금욕 및 방법은 하나 이상의 에피 할로 히드린을 치환된 피리딘, 퀴놀린, 이소 퀴놀린 또는 벤즈이미다졸 일수 있는 하나 이상의 질소 함유 화합물과 반응시켜...