로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 10983건

습식도금 자료분류

자료수 10984 건

추천글

Tag LIST

알칼리 포스트 화학기구 연마 세척액에 있어서 구리 부식억제제로서 피라졸의 연구
Study of Pyrazole as Copper Corrosion Inhibitor in Alkaline Post Chemical Mechanical Polishing Cleaning Solution

등록 : 2015.08.15 ⋅ 40회 인용

출처 : Soli Stat Scie and Tech, 3권 10호 2014년, 영어 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

Solid State Science and Technology

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅ ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.07.11
마이크로 일렉트로닉스 제조에서, CMP 공정후 구리 인터커넥트상에 남아있는 유기오염물 및 입자를 제거하기 위해서는 사후 화학적 기계적 연마 CMP 세정이 필요하다. 그러나 크리닝 솔루션을 사용하면 인터커넥트의 부식 및 오목성으로 인해 심각한 신뢰성 문제가 발생한다. 피라졸은 pH 14 에서 테트라메틸 암모늄하이드록...

연관글

  1. 도금기술노트.. HEDP
  2. 연구문헌자료.. 염산 용액에서 알루미늄 합금에 대한 트리아진디토일의 부식 억제
  3. 연구문헌자료.. HCl 매체에서 탄소강에 대한 새로운 계면활성제 TL-16의 부식 억제
  4. 도금기술노트.. 톨릴트리아졸
  5. 연구문헌자료.. 염화물과 알카리욕에 있어서 알루미늄 및 그 합금의 유기 부식식 억제제 : 평가
  6. 연구문헌자료.. 염산에대한 연강의 부식억제제로서 페닐티오우레아의 분자 구조
  7. 도금기술노트.. BTL
  8. 연구문헌자료.. 친환경 무전해 구리 나노 박막 석출에 대한 아졸 안정제의 영향
  9. 연구문헌자료.. 농황산 산세욕과 3-아미노-5-메르캅토1,2,3-트리아졸에 의한 그 억제에 있어서 고 장력강의 부식
  10. 연구문헌자료.. 산성욕에 있어서 연강에 대한 신규 세미카바존의 부식 억제 특성의 연구