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알칼리 포스트 화학기구 연마 세척액에 있어서 구리 부식억제제로서 피라졸의 연구
Study of Pyrazole as Copper Corrosion Inhibitor in Alkaline Post Chemical Mechanical Polishing Cleaning Solution

등록 2015.08.15 ⋅ 56회 인용

출처 Soli Stat Scie and Tech, 3권 10호 2014년, 영어 5 쪽

분류 연구

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Solid State Science and Technology

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자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.07.11
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