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검색글 Natsuki TAKAHASHI 1건
구리전석에 있어서 SPS 및 MPS 의 반응기구 해석
analysis of Reaction Mechnizm of SPS and MPS on the Copper Electro-Deposition

등록 2016.01.21 ⋅ 52회 인용

출처 표면기술, 66권 1호 2015년, 일어 3 쪽

분류 연구

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기타

硫酸銅浴からの銅電析におけるSPSおよびMPS反応機構解析

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.16
구리와 황산을 주체로한 황산구리욕을 이용한 구리전석는 다층 배선판의 회로형성의 비아와 트렌치 스루홀에 구리충전과 전해구리(동) 박의 제조 등에 이용되고 있으며, 전자분야 에서 필수적인 기술이다. 이 욕은 전석막의 물성개선을 목적으로 각종 첨가제를 첨가하는 것이 효과적이며, 이들 중 중요한 첨가제는 비스 ...
  • 헐셀 캐소드에 2차전류 분포를 전도지와 마이크로 컴퓨터를 조합하는 측정법으로, 분극의 영향을 간단히 예상할수 있는 방법
  • 무전해 도금법보다 경제적으로 저렴한 전기도금법에 의한 니켈-인 Ni-P 합금도금에 관한 속도론적 연구로서, 최적의 도금욕을 선택하여, 회전원판을 사용한 전해욕의 조성, ...
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  • 프린트배선판제조의 주류인 서브트랙디브법에 의한 에칭의 공정에 관하여, 장치 및 에천트의 특성, 재생기술에 관하여 설명