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전해전착시 상감 구리 배선의 충전에 미치는 레벨러의 효과
Effect of levler on the trench filling during damascene copper plating

등록 2008.08.23 ⋅ 59회 인용

출처 한국전기화학회지, 5권 3호 2002년, 한글 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.10.15
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