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코발트 라이너에 대한 무전해 구리 석출의 환원제로서 글리옥실산
Glyoxylic Acid as Reducing Agent for Electroless Copper Deposition on Cobalt Liner

등록 2017.12.01 ⋅ 49회 인용

출처 ECS Transactions, 64권 40호 2015년, 영어 13 쪽

분류 연구

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저자

Fumihiro Inouea1) Harold Philipsena2) Marleen H. van der Veen3) Stefaan Van Huylenbroeck4) Silvia Arminia5) Herbert Struyf6) Shoso Shingubara7) Tetsu Tanaka8)

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2025.02.27
구리 Cu 의 무전해도금은 높은 종횡비 구조를 가진 Si를 통해 얇은 코발트 Co 층에서 조사되었다. 무전해도금조는 전기화학적 분석을 사용하여 Cu 핵형성 동안 Co 부식을 최소화하도록 최적화되었다. 무전해구리 도금을 위한 무독성 환원제로 알려진 글리옥실산은 포름알데하이드의 경우 나타나지 않는 Co 에 양극산...

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