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무전해 공정에 의한 실리콘의 표면 처리 및 고감도 레이저 분석에의 응용
Surface Treatment of Silicon by Electroless Processes and Application to Sensitive Laser Analysis

등록 2024.08.11 ⋅ 35회 인용

출처 표면기술, 76권 2호 2024년, 일본어 7 쪽

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無電解プロセスによるシリコンの表面処理 と高感度レーザー分析への応用

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카테고리 : 무전해도금통합 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2024.08.11
Si 웨이퍼를 HF 용액 중에서 애노드 분극하면, 전해 연마가 일어나는 전위보다 비극한 전위로 Si 표면에 다공성층이 형성된다. 다공성 Si의 새로운 제작 방법으로서 금속 원용 에칭 방법에서는 귀금속 촉매를 수식한 Si 를 과산화수소(H2O2) 등의 산화제를 포함하는 HF 용액으로 다공성 Si를 제작할 수 있다. 용액 조성이나 ...
  • 알루미늄은 열전도성이 뛰어나며 가볍고 저가이며, 휠 등에 알루미늄을 사용함으로써 차체의 경량화, 프린트 배선판에 알루미늄을 접착하여 방열 효율을 높이는 등의 이유에...
  • 냉간압연 공장에서 생산되고 있는 강판의 강종 및 압연 길이에 따른 표면산화막 정도를 전기화학적인 방법을 이용하여 강판표면 특성을 분석함으로서 인산철 처리성에 미치...
  • 부식은 환경과의 반응으로 인한 열화 또는 금속성분의 열화이다. 크로메이트 변환코팅은 부식과정을 늦추고 (그리고 어느 정도 방지하기 위해) 금속표면을 부동태화하기...
  • 1. 부착하는 먼지의 종류와 분류 2. 도금 전처리 대해 - 기본적인 전처리 공정·탈지 세정·산 세척·산 전해 세척·전기 분해 3. 도금액 관리의 포인트 (액 관리와 노화 정도) ...
  • 저농도의 두 번째 금속을 가진 납 Pb 합금을 얻기 위해 붕불산욕욕에서 납과 함께 일부 원소의 석출을 연구하였다. 고려된 금속은 비소 As, 비스무스 Bi, 구리 Cu, 안티몬 S...