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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

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전기도금 구리막에 있어서 마이크로 보이드의 성장거동과 조성에서 유기첨가제의 효과
Effect of Organic Additives on Formation and Growth Behavior of Micro-Void in Electroplating Copper Films

등록 : 2017.12.26 ⋅ 32회 인용

출처 : Materials Transactions, 45권 11호 2004년, 영어 5 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.12.24
Si-ULSI (초대형 통합) 장치에 사용되는 전기 도금된 구리 Cu 인터커넥트의 보이드 형성 메커니즘을 이해하기 위해 유기첨가제가 있거나 없는 도금조를 사용하여 전기도금 기술로 준비된 Cu 피막의 미세구조를 투과전자 현미경으로 조사했다 (TEM). 도금된 상태의 샘플에서, 유기첨가제와 함께 도금조에서 준비된 시드 Cu 층...
  • 적당한 광택과 개선된 부착성을 나타내는 균일한 흑색조 피막을 각종 재료에 제공할 수 있는 흑색피막의 형성 방법
  • 황동도금재는 장식용으로 사용되며 고무가 틸 및 기타 금속에 접착되는 것을 촉진한다. 윤활성으로 인해 황동도금은 더 얇은 게이지로 인발되는 막대와 와이어에 적용된다.
  • 엔지니어링 응용을 위해 전기도금된 니켈합금에는 니켈-철, 니켈-코발트, 니켈-망간, 아연-니켈, 아연-니켈 도금이 포함됩니다.
  • 음극 전류 효율 ^ Cathode current efficiency 전기도금에서 음극으로 석출된 금속량의 이론 석출량에 대한 백분율을 말한다. 전류효율 = ( 실제석출량 ÷ 이론석출량 ) X 10...
  • 은 차세대 태양전지는 독성물질을 사용하지 않아 소비자의 거부반응이 없어야 하며, 태양전지의 안정성과 대량 생산성이 갖추어야할 기본 요건이다. 실리콘 태양전지를 중심...