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검색글 교류임피던스 3건
포름산계 과황산염계 조화액에 의한 구리의 에칭공정의 전기화학적 해석
Electrochemical Analysis of Copper Etching Process by Formic Acid Type, Persulfate Type Roughening Solution

등록 2019.11.11 ⋅ 36회 인용

출처 표면기술, 70권 5호 2019년, 일어 5 쪽

분류 연구

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저자

Kosei ITO1) Chihiro TAGA2) Sachio YOSHIHARA3) Naokatsu NOJIRO4) Shinji ISHIDO5) Yoshihiro KIKUCHI6)

기타

ギ酸系,過硫酸塩系粗化液による,銅のエッチング工程の電気化学的解析

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 표면세상 | 최종수정일 : 2021.01.30
에칭과정의 교류 임피던스 측정함에 따라 에칭표면의 리얼타임으로 거칠기 변화를 모니터링할 목적으로, 전자간력 현미경측정에 의한 표면거칠기와 교류 임피던스 측정 결과와의 상관성을 검토
  • 콜로이달 실리카를 성분계에서 제거하면서 절연피막층 표면품질이 우수한 성분계에 관하여 연구
  • 광택 흑색크롬에서 무광택 흑색까지 얻을수 있는 피막은 금속크롬과 크롬산화물, 기타 유기물로 구성되는 표면처리다. 당사 BCr 처리는 균일한 마이크로크랙 (벨벳 모양...
  • 탄소는 흑연, 다이아몬드, 활성탄 등 다양한 형태로 이용되고 있다. 또한 탄소나노튜브나 풀러렌, 그래핀 등이 차세대를 지지하는 중요한 소재로 기대되고 있으며, 이들에 ...
  • 초경합금에 전기도금된 니켈도금은 경질금속 소재에 다이아몬드 도금전에 중간층을 제공하기 위한 잠재적인 전처리 기술이다. 전기도금된 니켈 피막은 예를 들어 적절한 두...
  • 전해질 조성물 및 소재상에 4차 구리합금을 도금하는 방법에 관한 것이다. 전해질 조성물은 합금 금속 이외에 구리, 주석 및 아연, 인듐, 갈륨 및 탈륨군으로 부터 적어도 ...