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폴리비닐 피로리돈을 포함하는 구리도금 전해액 및 이를 이용한 반도체소자의 구리배선용 전기도금방법
Copper electroplating bath included polyvinylpyroridon and using for Semicontuctor

등록 : 2008.09.18 ⋅ 45회 인용

출처 : 한국특허, 2002-0366631, 한글 10 쪽

분류 : 특허

자료 : 웹 조사자료

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.12.05
구리염 수용액, 수용성 에톡실레이티드 베타 나프톨 화합물, XO3S (CH2)3 SS(CH2)3 SOX3 의 조성식으로 표시되는 디설파이드 또는 HS(CH2)3 SO3X 의 조성식으로 표시되는 수용성 메르캅토프로판설폰산염 (여기서, X는 나트륨, 칼륨 또는 수소이다) 중에서 선택된 하나의 화합물, 분자량 4600~10,000 인 수용성 [[폴리에...