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검색글 Philippe M. Vereecken 2건
다마신 구리 전기도금에 있어서 SPS 의 역할
The role of SPS in Damascene copper electroplating

등록 2009.04.16 ⋅ 115회 인용

출처 IBM, T.J. Watson Research Center, na, 영어 1 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.06
전형적인 황산구리 기반 전기도금 화학물질은 억제첨가제로서의 유기폴리머 (예 : 폴리에틸렌글리콜 / PEG), 촉진제/광택제로서의 비스 (소디움 설포프로필) 디설파이드 (SPS) 또는 유사한 분자, 그리고 가능한 추가 유기분자로 거울과 같은 도금 표면을 생성하는 레벨링 첨가제 역할을 한다. ½ SPS + H+ + e- →...
  • 전기도금 - 아연도금 카드뮴 주석도금 귀금속도금 합금도금 복합도금 기능도금 강판의 연속도금 무전해도금 - 은 Ag 도금 니켈도금 코발트도금 합금 및 기타도금
  • 다양한 저마찰성 토르크 개선 코팅제
  • 수용성 알칼리 도금욕으로부터 아연의 전착을 개선하는데 특히 유용한 조성물이 기술된다. 새로운 조성물은 다음 단계를 포함하는 공정에 의해 제조된 중합체 조성물을 포함...
  • 연마가공에 사용되는 공구로서, 버프연마를 중심으로한 종류, 방법 및 장치등에 관하여 소개
  • 초음파의 약 1/1000의 저주파로 진동에 의해 심한 유동을 발생시키어, 세정제를 심하게 교반하고, 진동과 유동을 동시에 만들어, 심한 3차원의 난류교반이 일어나다. 인버터...