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실시간 모니터링을 통한 구리 무전해도금에서의 SPS의 영향 확인 및 메커니즘 규명
Investigation of the Effect of Bis-(3-sulfopropyl) disulfide (SPS) on Cu Electroless Deposition and Its Mechanism Using Real-time Observation Method

등록 2020.05.28 ⋅ 36회 인용

출처 서울대학교, 2015년 2월, 한글 95 쪽

분류 연구, 학위논문

자료 웹 조사자료

저자

기타

bis-(3-sulfopropyl) disulfide (SPS),
3-N,Ndimethylamino dithiocarbamoyl-1-propane sulfonic acid (DPS),
2,2-dipyridyl

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2021.01.12
무전해도금은 수용액상에서 금속이온과 환원제의 산화∙환원 반응을 통해 외부의 에너지 공급없이 금속을 도금할수 있는 도금방법 이다. 특히, 표면활성화 반응을 통해 소재표면에 촉매를 형성시키면 다양한 소재에 직접 금속도금을 진행할 수 있다는 이점이 있어, 이는 반도체 배선 공정에서 확산방지막 위에 직접 [[구...

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