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전주에 의한 마이크로 금형과 마이크로/나노 부품의 개발(2)-UV-LIGA/Ni 전주형 마이크로배럴의 제작과 그 피로수명평가
Development of Nano/Micro-die and mechanical parts by electroforming (2)

등록 : 2008.08.04 ⋅ 30회 인용

출처 : 표면기술, 55권 4호 2004년, 일본 7 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2021.01.13
UV-LIGA 프로세스로 반도체회로 검사용 프로브로서 마이크로 배럴을 설계 제작하였다.