도금된 구리의 품질을 더잘 보장하기 위해 구리전기도금조에 사용되는 화학물질의 구성과 노화를 모니터링하는 방법이 필요 하다. 웨이퍼 팹의 구리 인터커넥트 도금조에서 전기화학적 임피던스 분광법 측정을 사용하여 해당조의 상태 변화를 특성화했다. 이 방법은 다른 도금 화학을 사용하는 도구를 명확하게 구별할수...
Ultrafill 3001 is a proprietary acid copper electrochemistry uniquely formulated to perform in any acid concentration. This chemistry has been designed for the 6...