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전기화학 임피던스 분광학을 이용한 구리욕 모니터링
Enhanced copper bath monitoring using electrochemical impedance spectroscopy

등록 : 2011.07.29 ⋅ 31회 인용

출처 : Adva. Elec. Manu.Technology, DEc 2004년, 영어 4 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

A. Zdunek1) D.N. Sanz2) C. Gabriell3) P. Mocoteguy4) H. Perrot5) C. Mace6) A. Quennoy7) E. Chabal8)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.10.15
도금된 구리의 품질을 더잘 보장하기 위해 구리전기도금조에 사용되는 화학물질의 구성과 노화를 모니터링하는 방법이 필요 하다. 웨이퍼 팹의 구리 인터커넥트 도금조에서 전기화학적 임피던스 분광법 측정을 사용하여 해당조의 상태 변화를 특성화했다. 이 방법은 다른 도금 화학을 사용하는 도구를 명확하게 구별할수...