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Citrate baths (구연산욕) 로부터 전기도금된 나노결정립 CoW 박막/후막의 응력변화에 대한 연구
Study of Stress Changes in Nanocrystalline CoW Thin/Thick Film Alloys Eletrodeposited from Citrate Baths

등록 : 2011.09.19 ⋅ 46회 인용

출처 : 전기화학, 9권 4호 2006년, 한글 10 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 합금/복합 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.12.20
구연산욕에서 전기도금공정을 이용하여 제조된 나노 결정립 크기를 갖는 코발트-텅스텐 CoW 합금박막의 특성을 연구하기 위하여, 전기도금 시 도금용액중의 W 이온의 농도, 전류밀도, pH 의 변화가 되금된 Co 및 W의 함량, 전류효율, CoW 합금박막의 스트레스 미세구조 및 표면 형상에 미치는 영향을 연구

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