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구리 전기도금에 의한 ULSI 와이어링 형성
ULSI Wiring Formation by Copper Electroplating

등록 2009.07.24 ⋅ 53회 인용

출처 Electrochemistry, na, 영어 1 쪽

분류 연구

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저자

Shuhei Miura1) Kimiko Oyamada2) Shingo Watanabe3) Masaharu Sugimoto4) Hiroaki Kouzai5) Hideo Honma6)

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분류
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.12.05
저농도 및 고농도 구리용액이 전기도금 용액으로 사용되었다. 첨가로는 PEG-4000 (평균 분자량 4000) 을 사용하였으며, MPS (2-메르캅토 프로판설폰산소다), MES (2-메르캅토에탄설폰산소다), SES (비스 (3-설포에틸) 이황화소다), 그리고 SPS는 광택제로 사용되었다. 구리도금에 대한 첨가제의 효과는 ...
  • AuriCoatTM AUL-5는 무전해니켈 도금층 위에 형성하는 치환형 금도금 첨가제로, 액 관리가 용이하며 액 안정성이 우수합니다
  • 금/은 Au-Ag 합금 전기도금욕에는 피로인산칼륨, 금 및 은과 같은 수용성 전해질이 각각의 알칼리 금속 시안화물로 존재하며 수용성 광택제 시스템이 포함된다.
  • 연경면에 구리도금을 할때 밀착력을 정량적으로 측정하여, 박리면은 통상 구리적색으로, 도금된 동막의 경도를 표시하고, Cu-Fe 간의 밀착강도는 박리없이 측정하는것을 연구
  • 니켈전주법의 원형 제작 재료로서는 절삭가공이 쉬운 쾌삭황동을 시작으로 스테인리스강, 니켈, 알루미늄, 인발, 코발등의 금속이 각각의 특성에 따라 응용되고 있다.
  • 무전해 니켈 도금에서 인의 함량이 8~10%정도가 기준일 때, 인의 증감에 따른 니켈의 내식성과 내마모성의 경향을 알고싶습니다. 인이 증가하면 내식성이 좋아지는 것으로 ...