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Photomask를 이용한 electroetching의 부식거동
Recent advance in dry etching technology

등록 2008.09.03 ⋅ 40회 인용

출처 표면기술, 53권 12호 2002년, 일본어 5 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2015.01.28
에칭후 노출된 면적의 에칭양을 중량 변화로부터 조사하여 에칭속도로 하였으며, SEM을 이용하여 에칭 된 Groove 표면을 관찰 하였다
  • 무기 몰리브덴산염 및 희토류염 부동태화, 유기 벤조트리아졸 (BTA)/메틸벤조트리아졸(TTA) 부동태화, 실란 부동태화 및 피틱산 부동태화를 포함하여 구리 및 그 합금의 무...
  • 금의 경우는 가격면에서 고가이므로 원하는 형태 또는 순도를 빨리 얻는 것은금리면에서 원가의 부담을 상당량 감소시킬 수 있으며 또한 기존의 생산공정을 단축하여 단위시...
  • 자력식 두께측정기 ^ Magnetic Thickness Tester 자력이 자성소지의 금속위에 비자성체의 피막 두께를 자성의 변화로 두께를 측정하는 방법 참고 [도금두께측정|도금두께 측...
  • USS
    USS 황산구리 도금욕의 저전류부의 광택과 레벨링 향상제 일반적으로 GISSㆍPㆍN 등과 조합하여 사용한다. 참고 [황산구리도금광택제|황산구리 도금광택제]
  • 착화제로 칼륨나트륨 타르테이트와 트리소디움 시트레이트를 함유하는 산성 황산용액에서 전착하여 얻은 구리-아연 Cu-Zn 도금을 연구하였다. 전류밀도, pH 및 온도가 도금...