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스탬퍼의 전해 탈지욕와 전해 탈지방법
Electrolytic cleaning method and electrolytic cleaning solution for stamper

등록 : 2010.01.13 ⋅ 33회 인용

출처 : 미국특허, USP 5104501, 영어 7 쪽

분류 : 특허

자료 : 웹 조사자료

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자료요약
카테고리 : 산세/탈지 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.10
스탬퍼와 대향 전극판을 전극지그에 의해 서로 대향하는 전해스탬퍼 세정액에 현탁시키는 것을 포함하는 스탬퍼의 개선된 전해세정 방법, 대향 전극판 및 전극지그는 각각 실질적으로 동일한 재료로 제조된다. 스탬퍼와 대향 전극 사이에 DC 전압을인가하여 전자가 양극 역할을하고 후자는 음극 역할을하여 세정액의 교반하...
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  • SECM 의 프로브에 이용되는 미소디스크 전극구조체는, 전극부외에 배선 및 전극을 보호하는 절연체로 구성되어 있다. SECM 으로서 높은 면분해기능을 실현하기 위하여, 미소...
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