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금의 에칭
Pattern etching of Au-Film

등록 2010.01.14 ⋅ 52회 인용

출처 실무표면기술, 35권 11호 1988년, 일어 4 쪽

분류 해설

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金のエッチング

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.08.10
금의 에칭법, 특히 두께법에 의한 금패턴에칭기술에 관하여, 그 재료 방법등 기술전반에 관한 설명
  • 무유화제 중합으로 제조한 PMMA 시드 고분자 미립자에 HDDA, triEGDMA 또는 triEGDMA 와 EGDMA의 혼합액을 one-stop으로 흡수시킨 뒤 중합하여 단분산 가교고분자 미립자를 ...
  • 제청 · Rust Removal 소재의 녹(산화물)과 스케일 등을 무기산 및 특정 알칼리성 물질로 화학 반응에 의해 제거하는 것을 말한다. 도금에서 소재표면에 산화물(녹)이 남아있...
  • 실리콘 소자의 집적도가 증가함에 따라서 Metallization Dimention 의 감소는 필수적이며 Al 도체의 사용은 Electromigration, Junction Spiking 등의 많은 문제점을 안고 ...
  • 크로메이트 기반의 변환 코팅은 알루미늄 및 알루미늄 합금의 보호를 위해 널리 사용된다. 부식에 대한 보호 코팅 역할을 하며 페인트 접착을 위한 베이스 역할도한다. 따라...
  • 이 문서에서는 경질크롬 도금 (스프레이 코팅, 무전해 니켈도금, 니켈 텅스텐 복합도금 및 전착) 에 대한 몇 가지 대안에 대해 설명하였다.