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전해 황산을 이용한 ABS 수지의 에칭 처리 기술
Etching Technology for ABS Resin Using Electrolyzed Sulfuric Acid

등록 2021.11.17 ⋅ 81회 인용

출처 표면기술, 71권 12호 2020년, 일본어 4 쪽

분류 연구

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電解硫酸を用いた ABS 樹脂のエッチング処理技術

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2021.11.17
반도체 제조 공정의 세정 용도용으로 개발된 전해 황산 기술을 크롬 프리 에칭 처리 공정으로서 적용을 시도하였다. 전해 황산이란 고농도의 황산을 전기분해하여 퍼옥소이황산이나 퍼옥소일황산과 같은 강산화성 물질을 함유시킨 용액이다. 전해 황산 기술의 개요와 이를 이용한 ABS 수지의 에칭 효과 및 도금 처리의 결과...
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  • 크롬은 기판에 니켈 또는 구리의 선택적 무전해 도금에서 마스크로 사용된다. 크롬은 전도성기판의 경우 전기 도금에 의해 또는 비전도성 기판의 경우 스퍼터링에 의해 편리...