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구리 트렌치 미세구조에 대한 유기 첨가제의 영향
The Impact of Organic Additives on Copper Trench Microstructure

등록 2022.01.08 ⋅ 52회 인용

출처 Electrochemical Society, 164권 9호 2017년, 영어 8 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.01.25
유기 첨가제는 일반적으로 높은 종횡비 장점을 필링 보이드 형성을 방지하기 위해 구리 (Cu) 에 펄스 전착이 사용된다. 유기 첨가제에 의해 수정된 도금액의 화학 역할이 구리 Cu 트렌치 미세 구조에 미치는 영향에 대해 조사하였다. 폴리에틸렌 글리콜 (PEG), 비스(3-설포프로필) 이황화물 (SPS) 및 야누스 그린 b (JGB) 농...

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