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액체 크로마토그래피에 의한 산성 구리 도금욕에 있어서 첨가제 및 부산물의 측정
Determination of additives and byproducts in an acid copper plating bath by liquid chromatography

등록 2022.06.14 ⋅ 48회 인용

출처 thermofisher, APPLICATION NOTE 139, 영어 8 쪽

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카테고리 : 시험분석 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2024.03.13
이 애플리케이션 노트는 흡광도 검출 기능이 있는 Thermo Scientific™ Dionex™ IonPac™ NS1 컬럼을 사용하여 산성 구리도금욕에서 첨가제와 부산물을 측정하는 방법에 대해 설명하였다. 구리 전기도금 시스템은 반도체 웨이퍼에 구리를 전착한다. 산성 구리 도금의 주요 구성 요소는 황산구리, 황산 및 염소이온이다. 다양한...

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