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존 플레이트 나노구조의 제어된 전기도금을 위한 소형 아황산염 기반 금욕
Miniaturized Sulfite-Based Gold Bath for Controlled Electroplating of Zone Plate Nanostructures

등록 2022.07.06 ⋅ 51회 인용

출처 micromachines, 13권 2022년, 영어 9 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 금은/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.07.07
금으로 만든 X선 존 플레이트는 X선 영상 실험에 사용되는 일반적인 광학 부품이다. 일반적으로 전자빔 리소그래피와 시안화욕을 사용한 금 전기도금으로 제작된다. 소형화된 금-아황산욕에서 금 전기도금 공정을 실험하였다. 잘 정의된 크기의 온칩 기준 소형 도금 영역으로 가능하며, 제작된 골드 존 플레이트는 싱크로트...
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  • 구리의 전착에 관한것으로, 특히 산성 전해질로부터 기공이 없는 밝고 매끄러운 구리피막의 전착에 관한 것이다.
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  • 제품의 소형화와 도금부품의 경박단소화 특히 일렉트로닉스분야에 사용되는 칩 부품이나 수정발진자, 기타 미소부품이 증가하고 있다. 이와 같은 배경으로 배럴도금은 중요...