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도금액중의 레벨러 농도 측정방법
Leveler measurement method in plating baths

등록 2008.09.18 ⋅ 70회 인용

출처 한국특허, 2007-0007395, 한글 11 쪽

분류 특허

자료 웹 조사자료

저자

이사야마 야스시1) 우에야마 히로유키2) 가네코 히로유키3) 야마카와 준이츠4) 홍고 아키히사5) 기미즈카 료이치6) 마루야마 메구미7)

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.12.15
반도체소재 등의 표면에 형성된 배선용 홈이나 구멍에 구리 등의 금속을 충전하는 데 사용하는 도금장치의 도금액 중의 레벨러 농도를 CV법 또는 CVS 법에 의해 측정한 도금액의 박리영역에서의 피크치 면적 (AR값) 에 의해 구하도록 한 것을 특징

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