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도금액중의 레벨러 농도 측정방법
Leveler measurement method in plating baths

등록 2008.09.18 ⋅ 70회 인용

출처 한국특허, 2007-0007395, 한글 11 쪽

분류 특허

자료 웹 조사자료

저자

이사야마 야스시1) 우에야마 히로유키2) 가네코 히로유키3) 야마카와 준이츠4) 홍고 아키히사5) 기미즈카 료이치6) 마루야마 메구미7)

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.12.15
반도체소재 등의 표면에 형성된 배선용 홈이나 구멍에 구리 등의 금속을 충전하는 데 사용하는 도금장치의 도금액 중의 레벨러 농도를 CV법 또는 CVS 법에 의해 측정한 도금액의 박리영역에서의 피크치 면적 (AR값) 에 의해 구하도록 한 것을 특징
  • 광택 황산 구리 도금의 음극보의 세정은 어려웠다. 이 음극보를 제거하면, 대량의 슬러지가 도금액 안으로 들어가고, 도금은 심하게 거친도금이 생긴다. 많은 작업자, 도금 ...
  • 황산구리 - 황산인듐 CuSO4 - In2(SO4)3- 구연산계 수용액에서 구리-인듐 Cu-In 합금전석실험을 하여, Cu+2 농도 및 구연산 첨가량에 대한 석출거동및 합금조성에 관한 연구...
  • 대표적인 위치 인식 소자인 가속도계와 각속도계의 경우 현재 주로 실리콘 마이크로머시닝에 의해 제작되고 있으나 실리콘 마이크로머시닝으로는 기본적으로 높은 ,구조물 ...
  • 시안화 아연도금의 불량대책 밀착불량 탈지불량 ⇒ 탈지방법 개선 소재불량 ⇒ 소재 확인후 방법 개선 거친도금 과도한 산처리로 거친 표면 여과 불량 ⇒ 액중 불용성 고형물 ...
  • 마그네슘 합금에 대하여, 양호한 내식성을 가진 인산염 양극산화 처리에 관하여, 방식기구를 중심으로 피막의 특성을 소개