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다마신 전기도금과 관련된 구리 표면의 경쟁적인 음이온/음이온 상호작용
Competitive anion/anion interactions on copper surfaces relevant for Damascene electroplating

등록 2022.02.16 ⋅ 51회 인용

출처 Electrochimica Acta, 70권 2012년, 영어 10 쪽

분류 연구

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저자

N.T.M. Hai1) T.T.M. Huynh2) A. Fluegel3) M. Arnold4) D. Mayer5) W. Reckien6) T. Bredow7) P. Broekmann8)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.02.16
Cu(100)/전해질 모델 인터페이스에서 염화물과 SPS (비스-(나트륨-설포프로필)-디설파이드) 의 상호 경쟁 작용은 현장 STM 및 DFT 와 함께 순환 전압 전류법으로 연구하였다. 이 특정 음이온/음이온 상호작용은 첨단 온칩 금속화에 사용되는 산업용 Cu 다마신 공정의 맥락에서 서프레서 앙상블 비활성화에 가장 중요하다. 표...
  • 각종금속을 함유한 산용액에서 이온교환수지로 유리산과 금속염을 분리하는 방법의 소개와, 유리산의 회수에는 물이 사용되는 경제적인 크린 방법을 소개
  • 서로 다른 니켈욕을 사용한 베릴리움의 무전해니켈 도금을 연구하였다. 차아인산을 사용한 도금액으로 100 μm 두께의 니켈도금은 밀착력이 우수하다.
  • 최대 약 15 중량 % 의 니켈을 함유하는 아연-니켈 합금 전착물에 도금된 크롬산염 피막을 형성하는데 적합한 산성 크롬산염 수용액을 포함하며,이 용액의 pH는 약 1.3 ~ 2.7...
  • 크롬 Cr(vi) 은 널리 퍼져있는 환경오염 물질이며 알려진 인체발암 물질 이다. 생체 흡착은 산업 폐수에서 독성 Cr(vi) 을 제거하는 매우 일반적인 방법이다. 생체 흡착에서...
  • 산성 구리도금욕 및 광택레베링 구리도금을 전착하기 위한 공정을 설명하였다. 하나 이상의 욕 가용성 구리염, 유리 산 및 클로라이드 이온을 함유하는 것 외에도, 구리도금...