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도금 공정을 이용한 트로이드형 마이크로 인턱터의 제작 공정 개발
Development of fablication process for toroidal inductors using electroplating method

등록 2008.09.24 ⋅ 42회 인용

출처 전기전자재료학회, 2003년도 하계학술대회 논문집, 한글 4 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2015.01.22
최근의 마이크로 인덕터는 자기 데이터 저장을 위한 헤드 자기장 센서 마이크로 변압기와 휴대폰의 수동 소자와 같은 다양한 분야에 이용되고 있다. 이를 이위하여 UV-LIGA 공정개발, 마이크로 인덕터의 철심과 구리선 제작, 등..
  • 고체구리-구리 결합은 알려진 무전해구리욕을 사용하고 질소환경에서 1시간 동안 180 ℃ 에서 저온 어닐링을 사용하여 입증되었다. 공정 실행 가능성이 입증되었지만 본...
  • 6가크롬 도금 또는 기타 경질 윤활성 피막을 대체하기 위해 텅스텐 합금 전기도금조에 사용되는 광택제이다. 본 발명의 도금욕은 유효량의 텅스텐 이온을 포함하고, 텅스텐...
  • 구연산염 용액에서 구리의 전착은 도금욕의 pH 함수로 조사 되었으며 500 nm 트렌치의 충전에 적용되었다. 구연산 수용액에서 구리도금을 사용하여 서로 다른 우세한 구연산...
  • 환원제로 차아인산소다를 대신으로 DMAB 을 적용하여, 무전해 니켈-주석-붕소 Ni-Sn-B 합금도금피막의 제작조건과 석출속도와 욕의 안정성에 관하여 조사
  • 니켈 경질금의 전착을 Renovel N 욕으로 연구하였다. LSV (Linear Sweep voltammetry) 시험은 전착 반응의 억제와 관련된 전류 피크의 형성을 보여주었다. 경질금욕에서 [[T...