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구연산 도금욕에서 트렌치내의 구리의 전착
Electrodeposition of copper into trenches from a citrate plating bath

등록 2013.05.29 ⋅ 45회 인용

출처 Elec. Acta, 56권 2011호, 영어 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.14
구연산염 용액에서 구리의 전착은 도금욕의 pH 함수로 조사 되었으며 500 nm 트렌치의 충전에 적용되었다. 구연산 수용액에서 구리도금을 사용하여 서로 다른 우세한 구연산 구리복합체를 가진 4 개의 도금조를 선택했으며, 이는 UV-vis 분광광도법을 사용하여 확증되었다. 도금조의 전기화학적 특성은 도금 동역학을 트렌치...
  • HEMT (ETP) ^Hexamethylene tetramine hydroxy propyl chloride ^hexamethylene triquaternary ammonium chloride 성상 : 황색~갈색 첨가량 : 10~100 ㎎/L [아연도금] 작업 ...
  • 붕불화물 이온을 상온에 분해하여, 마그네슘이온의 첨가에 따라, 불소를 강화된 폐수를 기준이하로 제거하는 방법에 관한 연구
  • 붕불산욕을 사용한 전착 overlay 제조와 관련하여 반원형 음극내에 overlay를 균일하게 피복시킬수 있는 제인자(slot, size, 전류밀도, 붕불산의 농도)의 영향을 고찰하였고...
  • 청색 크로메이트 ^ Blue Chromate (광택 크로메이트) 아연의 3가 크롬 청백색 크로메이트 처리액에는 염기성 황산크롬ㆍ착화제 및 촉진제로 구성되며 니켈염ㆍ코발트염 등을...
  • 니켈도금에 사용되고 있는 기본적인 와트욕을 사용하여, 생산단가를 감소시키기 위해 도금욕의 성분중 염화니켈과 황산니켈의 양을 감소시키고, pH 완충제로 사용되는 붕산...