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자료요약
카테고리 : 합금/복합 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2024.01.10
MEMS의 전기화학적 형성은 실온 작동과 같은 다른 물리적 공정에 비해 낮은 에너지 요구 사항, 빠른 전착 속도, 복잡한 모양에 대한 상당히 균일한 전착, 저렴한 비용, 간단한 확장 및 쉽게 유지 관리되는 장비 등 많은 장점을 가지고 있다. MEMS 는 집적 회로(IC) 호환 일괄 처리 기술을 사용하여 제작된 전기 및 기계 구성...