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무전해 공정에 의한 실리콘의 표면 처리 및 고감도 레이저 분석에의 응용
Surface Treatment of Silicon by Electroless Processes and Application to Sensitive Laser Analysis

등록 2024.08.11 ⋅ 34회 인용

출처 표면기술, 76권 2호 2024년, 일본어 7 쪽

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無電解プロセスによるシリコンの表面処理 と高感度レーザー分析への応用

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자료요약
카테고리 : 무전해도금통합 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2024.08.11
Si 웨이퍼를 HF 용액 중에서 애노드 분극하면, 전해 연마가 일어나는 전위보다 비극한 전위로 Si 표면에 다공성층이 형성된다. 다공성 Si의 새로운 제작 방법으로서 금속 원용 에칭 방법에서는 귀금속 촉매를 수식한 Si 를 과산화수소(H2O2) 등의 산화제를 포함하는 HF 용액으로 다공성 Si를 제작할 수 있다. 용액 조성이나 ...
  • 자기기록 매체의 언더코트로서 알루미늄 소재상의 무전해 니켈-인 Ni-P 도금을 채용하는 경우의 도금욕 조성 및 액관리, P 함유량과 내열자기특성의 관계 및 피막의 특성에 ...
  • 아연은 철의 부식방지를 위해 가장 쉽게, 그리고 저렴하기 때문에 널리 이용되고 있다. 아연의 내열 부식저항 성능이 요구되는 자동차 엔진 주변 부품에 있어서는, 아연-니...
  • 4개의 아연-철-니켈 Zn-Fe-Ni 피막을 알루미늄과 강판에 전위차 전착조건에서 도금하였다. 그들의 조성, 부식특성 및 구조는 전해질의 FeSO4 농도의 함수로 평가되었다. 피...
  • 경질크롬 도금의 특성 전착층의 외관 / 경도 / 마모성 / 내열성 / 내식성 / 흡장수소와 경도에 있어서 유공도와의 관계 각종금속의 용유점의 비교 / 크롬도금면의 마찰계수 ...
  • 금도금은 옛날부터 장식용으로 장신구에 실시되어 왔다. 금은 언제까지나 녹슬지 않고 광택이 변화하지 않는다는 성질과 산출량이 적다는 점에서 귀중한 것으로 취급되어 장...