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무전해 공정에 의한 실리콘의 표면 처리 및 고감도 레이저 분석에의 응용
Surface Treatment of Silicon by Electroless Processes and Application to Sensitive Laser Analysis

등록 2024.08.11 ⋅ 33회 인용

출처 표면기술, 76권 2호 2024년, 일본어 7 쪽

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無電解プロセスによるシリコンの表面処理 と高感度レーザー分析への応用

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자료요약
카테고리 : 무전해도금통합 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2024.08.11
Si 웨이퍼를 HF 용액 중에서 애노드 분극하면, 전해 연마가 일어나는 전위보다 비극한 전위로 Si 표면에 다공성층이 형성된다. 다공성 Si의 새로운 제작 방법으로서 금속 원용 에칭 방법에서는 귀금속 촉매를 수식한 Si 를 과산화수소(H2O2) 등의 산화제를 포함하는 HF 용액으로 다공성 Si를 제작할 수 있다. 용액 조성이나 ...
  • 폐액을 이용하여 황산이온, 염소이온을 이용하지 않고 도금욕을 만들어, 그 욕 단독의 안정성과 안정제에 의한 효과를 검토
  • 밀리파 레이다카바에 대응하는 무전해니켈도금에 의한 전파 투과성을 가진 도금피막의 형성을 연구
  • 폴리아민과 알데하이드 및 카복실산의 반응으로 얻은 수용성 제품을 구연산기반 주석(합금)기반 전기 도금조에 첨가하여 광택이 있는 도금피막을 우수하게 전착한다.
  • 왕수 · aqua regia 진한 질산 1 부피와 진한 염산 3 부피를 혼합한 혼산으로 특유의 자극성 냄새가 나는 액체다. 일반적인 염산이나 질산에 녹지 않는 금 백금 등을 녹일 수...
  • 알루미늄 Al 또는 Al 합금 공작물을 제조하는 방법에 관한 것으로, Al 또는 Al 합금 공작물을 제공하는 단계, Al 또는 Al 합금 공작물의 외부표면을 전처리하는 단계 및 니...