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무전해구리 도금욕 무전해구리 도금방법 및 ULSI 구리배선 형성방법
Electroless Copper Plating and ULSI copper circuit construction method

등록 2008.08.03 ⋅ 74회 인용

출처 일본특허, 2007-154307, 일본어 12 쪽

분류 특허

자료 웹 조사자료

저자

기타

無電解銅めっき浴、無電解銅めっき方法 及び ULSI 銅配線形成方法

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.01.22
수용성 구리염, 환원제, 착화제, 도금석출 억제제로서 폴리에틸렌 글리콜, 폴리프로필렌 글리콜 또는 에틸렌글리콜-프로필렌글리콜 공중합체 및 도금석출 촉진제로서 8-하이드록시 -7- 요드 -5- 퀴노린 설폰산을 함유 하고, Na 이온을 함유하지 않은 무전해구리 도금욕
  • Innotive ENP-6520 무전해니켈도금 프로세스는 산성 금속용 (Ni-P) 무전해니켈 도금액으로, 액관리가 쉬우며 지속적이며 균일한 광택을 유지가능한 중인형 (7~9 %) 무전해니...
  • 염화 아연도금조에 소량의 염화암모늄이 존재하면 심각한 폐기물 처리 문제를 일으키지 않고 비용을 크게 절감하고 도금부품의 품질을 높일수 있다.
  • 벤조트리아졸 (BTA) 을 포함하는 산성 황산용액에서 구리의 DC 및 펄스도금을 연구하였다. BTA 가 유일한 첨가제인 경우 일반적인 도금 형태보다 더 강한 효과를 가...
  • 안녕하세요~ 무전해 팔라듐 도금에 관심이 많은 신입입니다. 미크론 단위의 실리카 입자에 무전해 팔라듐 도금으로 수십 nm의 팔라듐을 코팅하고 싶은데 방법이 있는지 모르...
  • 부식은 유비쿼터스 자연 과정이다. 우리 대부분은 일상 생활의 어느 시점에서 부식이 녹슨 철강 부품에 미치는 영향에 익숙해진다. 부식은 엄청난 경제적 영향을 미친다. 연...