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전해액 조성이 전기도금으로 제작된 구리박막의 특성에 미치는 영향
Effect of electrolyte composition on Cu thin firm by electroplating

등록 : 2012.12.21 ⋅ 21회 인용

출처 : 한국해양정보통신학회, 2008 추계종합학술대회, 한글 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

송우지1) 서정혜2) 이연승3) 염기수4) 류영호5) 홍기민6)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2016.03.20
전기도금된 구리박막의 비저항에 대한 전해액이 미치는 영향을 조사
  • 이 프로젝트는 반도체 응용 분야의 VLSI 기능을 위해 특허받은 패러다익 공정을 사용하여 최소한의 오버플레이트로 구리를 증착할 수 있는 가능성을 입증했습니다. Copper M...
  • 본 발명은 새로운 침지주석 도금 조성물 및 금속 표면 위에 매끄럽고 균일한 금속주석 도금을 전착하여 향상된 납땜성을 제공하는 새롭고 개선된 방법에 관한 것이다. 일반...
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  • 경질크롬 도금의 6가크롬 용출량을 측정하는 시험방법이 규정되어 있지 않기 때문에 실험방법은 역시 6가크롬을 이용한 표면처리이다. 크로메이트 처리의 6가크롬 용출량 측...
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