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도금법에 의한 다층막의 제작
Preparation of Multi Layer Film by Plating Method

등록 2013.01.06 ⋅ 26회 인용

출처 표면과학, 14권 9호 1993년, 일어 5 쪽

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기타

めっき法による多層膜の作製

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.10.16
일반적으로 다층피막은 증발 방법 및 스파터링 방법과 같은 건식공정으로 제조된다. 전형적인 습식공정인 도금법에 의한 다층피막의 제조 방법을 논의한다. 준비방법은 단세포법, 이중세포 법, 유동용액법의 세가지 유형이 있다. 특히 본 논문에는 도금법에 의해 제조된 다층막의 단면 구조사진을 일부 제시하였다. 각 ...