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MEMS 재료로서의 Ni-W 합금도금막
Study of Ni-W alloy as a MEMS Material

등록 2013.01.11 ⋅ 26회 인용

출처 電気学会論文誌, 19권 11호 1999년, 일어 6 쪽

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.10.17
종횡비가 높은 MEMS 장치에서 LIGA 또는 LIGA와 유사한 프로세스가 일반적으로 사용된다. 이러한 공정에서 소자구조의 재료는 전착이 쉽기 때문에 니켈 또는 구리로 전기도금한다. 이 논문에서는 대체재료인 전기도금된 니켈텅스텐합금도금이 MEMS 재료로 검토되었다. 기계적, 화학적 및 자기 전기적 특성의 측정에 ...

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