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검색글 Takayuki Fujita 1건
MEMS 재료로서의 Ni-W 합금도금막
Study of Ni-W alloy as a MEMS Material

등록 2013.01.11 ⋅ 26회 인용

출처 電気学会論文誌, 19권 11호 1999년, 일어 6 쪽

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.10.17
종횡비가 높은 MEMS 장치에서 LIGA 또는 LIGA와 유사한 프로세스가 일반적으로 사용된다. 이러한 공정에서 소자구조의 재료는 전착이 쉽기 때문에 니켈 또는 구리로 전기도금한다. 이 논문에서는 대체재료인 전기도금된 니켈텅스텐합금도금이 MEMS 재료로 검토되었다. 기계적, 화학적 및 자기 전기적 특성의 측정에 ...
  • 현재 폐수처리 기술은 물에 용해된어 있는 것을 물에 불용성인 화합물로 변화시키고 다시 이것을 물로부터 분리시키는 방법이 주가 되고 있다. 예로서 시안이온은 물속에서 ...
  • 삼투압 ㆍ Osmotic pressure [용매]는 통과시키나 [용질]은 통과시키지 않는 반투막을 고정시키고, 그 양쪽에 용액과 순용매를 따로 넣으면, 용매의 일정량이 용액 속으로 ...
  • 무전해은도금액 및 이를 이용한 금속배선 형성방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 무전해은 Ag 도금액은, 은 화합물과 마그네슘 화합물과 상기 은 이온 및 상기 마...
  • 입계 산란을 줄이기 위해서는 입계의 감소 즉 입자 크기의 확대가 유효하다고 생각된다. 구리 배선에 사용되는 구리는 황산 구리도금욕을 이용한 전기도금에 의해 도금된다....
  • 프론, 트리클로로에탄의 감소 스케쥴이 정식 결정됨에 따라, 대체 세척기술의 확립이 필요하여, 대체 세척기술의 유기용제-특히 나프틴계 탄화수소 용제를 중심으로 설명