로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 무전해구리 63건

습식도금 자료분류

자료수 10841 건

추천글

Tag LIST

MEMS 무전해구리 도금의 기술
Technology of Electroless Copper Plating for MEMS

등록 : 2013.03.04 ⋅ 23회 인용

출처 : NA, NA, 영어 6 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Yi Li1) Xiang Han2) Yilong Hao3) Guizhen Yan4) Wengang Wu5)

기타 :

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2021.02.17
MEMS 를 위해 새로 개발된 무전해구리 도금 기술이 이 논문에 보고되었다. 무전해도금된 구리막이 실리콘 표면에 완벽하게 접착되도록 하기위해 이온주입 및 KOH 에칭과 결합된 산소플라즈마 충격을 사용하여 실리콘 표면에 물리적 처리할 것을 제안한다. 구리피막의 두께와 시트 저항은 각각 1500 옹스트롬과 0.14 Ω/cm2 (...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 초박형 플라즈마 보조 원자층 석출 팔라듐층을 갖춘 내화성 및 귀금속 소재의 무전해 구리
  2. 도금재료 카타록/TDS.. NB SEMIPLATE PD 200 / Pd electroplating process
  3. 연구문헌자료.. 무전해 구리 도금 공정에서 발생하는 산업 폐수에서 킬레이트화된 구리 이온 제거를 위한 삼티오탄산나트륨의 사용
  4. 연구문헌자료.. 섬유 동도금방법
  5. 도금기술노트.. THEED
  6. 연구문헌자료.. 알칼리 프리 무전해 구리 도금에 있어서 결정 방향에 대한 계면활성제 첨가 효과
  7. 연구문헌자료.. 약산성욕으로 부터 CoMo 및 CoMoP 합금의 전착
  8. 연구문헌자료.. 인쇄회로기판용 홀 금속화 기술 연구 진행
  9. 연구문헌자료.. 무전해 도금의 동역학: 구리-디메틸아민 보란 시스템
  10. 도금기술노트.. 메탄설폰산구리무전해욕
  • 금속과 형광입자를 복합화할때 도금피막의 표면에 공석된 입자를 이용한 장식용 칼라도금과 금속형광판이 제작을 목적으로한 실험
  • DMAB · Dimethyl amin boran [디메틸아민보란] 참고 [무전해니켈도금|무전해 니켈도금]
  • 자기 기록 시스템 대량의 전자 데이터를 저장하고 데이터에 대한 고속 랜덤 액세스를 제공하는 자기 기록 장치는 100여 년 전 Valdemar Poulsen이 발명한 이래 정보 기술 발...
  • 체심 입방형 금속에 화학적 치환석출로 성장했다 면심 입방형 금속막에 대한 기본질과 결정학적 관련성 및 생성기구등 구조를 조사하기 위해 저자가 행한 철표면에 석출 성...
  • 미세 전기주조 니켈의 텍스처에 대한 펄스전류의 영향에 대한 실험적 조사는 황산니켈염욕을 사용하여 수행하였다. 서로 다른 펄스 전류조건에서 강하고 약한 텍스처가 형성...