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화학 구리도금 피막의 피로 유연성
Fatigue ductility of the chemically deposited copper films

등록 : 2008.08.09 ⋅ 30회 인용

출처 : 금속표면기술, 33권 8호 1982년, 일본어 6 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.07.14
EDTA 욕 및 Quadrol 욕에서 만든 화학 구리도금 피막에 관하여, 박막의 피로왜연성을 정량적으로 평가한 피로연성 (Fatigue Ductility) Flex Tester 로 측정하고, 피로 왜연성과 인장강도, 경도 및 신율과의 상관성을 결정하는 파라미터를 기반으로 검토하였다.

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