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실리콘 웨이퍼상의 무전해 도금의 밀착성
The adhesion of electroless plating on silicon wafer

등록 2008.08.09 ⋅ 86회 인용

출처 금속표면기술, 37권 9호 1986년, 일어 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 비금속무전해 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.11.30
불산 질산 삭산의 에칭액에 과산화수소를 첨가함에 따라, 실리콘 웨이퍼가 에칭된다. 에칭 전처리로 수산화칼륨 처리를 하면 에칭 피트생성속도가 촉진되고, 불산 질산 삭산 과산화수소 에칭의 처리시간을 단축하게 된다
  • 304 스테인리스를 인산형의 용액에 전해연마하고, 가성소다 용액에 수세하고, 온수중에 세척하고 있으나, 약 8시간후에는 용접부분에 녹색 또는 백색화합물이 발생하고 있습...
  • NiFeP 도금을 무전해로 실험하였다. 희토류 원소, 온도 및 수조 pH 가 도금 속도, 혼합 전위, 조성 및 구조에 미치는 영향을 체계적으로 논의했다. 결과는 희토류 세륨 양이...
  • 트라이톤 X-100 ㆍ Triton X-100 ^ Polyoxyethylene(10) octylphenyl ether C14H22O(C2H4O)n (n=9-10) 친수성 [폴리에틸렌] 옥사이드 사슬 (평균 9.5 에틸렌 옥사이드 단위...
  • GA 의 무처리재 및 크로메아트 처리재를 대상으로 이들 각각에 대한 부식거동을 관찰하고 크로메이트 처리재는 용액의 조성과 성분을 달리하여 이들이 강판의 내식성 및 그 ...
  • 현장관리기술 시리즈 본 자료는 일본의 표면처리 전문잡지인 표면기술 (表面技術) 에서 시리즈로 연재 된 것을 발췌하여 해석해 놓은 것으로, 주로 습식법을 바탕으로 하여 ...