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새로운 임피던스 방법에 의한 구리도금욕의 관찰방법
Process Monitoring of Copper Baths by a Novel Impedance Method

등록 : 2011.07.29 ⋅ 39회 인용

출처 : NA, NA, 영어 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.09.27
EIS (Electrochemical-impedance spectroscopy) 측정은 도금조 조건의 변화를 특성화하기 위해 구리금속화 중에 구리 상호연결 도금조에서 수행되었다. 여러 공정 도금조 실험의 결과는 임피던스 스캔의 모양이 도금조의 화학 정상 상태 변화에 민감하고 전체 도금액품질의 지표가 될수 있음을 나타 냈다. 이 방법을 전체 도...