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검색글 Shozo MIZUMOTO 19건
중성 무전해 구리도금에 의한 ULSI 구리배선의 형성
Fabrication of ultra-large scale intergrated by electroless neutral copper plating

등록 2008.08.10 ⋅ 52회 인용

출처 표면기술, 50권 4호 1999년, 일어 4 쪽

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2020.11.08
Vaskelis 법의 코발트(ii) 화합물을 환원제로한욕을 개량하여, 지금의 무전해도금욕과 다른 구성성분과 석출기구에 기초로한 욕에서, 실리콘웨이퍼상의 트렌치 코넥타 홀내에 구리배선을 형성하는 방법을 검토
  • 도금막의 형태에 있어서 환원제첨가량의 영향, 도금피막중의 붕소정량 및 도금막의 열처리에 의한 조직변화의 관찰과 비정질의 원인을 검토
  • 아닐링 ㆍ Annealing 일정 온도를 가열하여 성형에 의해 생긴 왜곡ㆍ변형ㆍ비틀어짐 등을 제거하는 것으로, 도금에서는 다이캐스팅 류의 도금전 풀림, 프라스틱 도금에서의 ...
  • 이 검증된 기술은 랙도금의 품질과 배럴시스템의 생산 효율성을 결합한다. 종종 진동 장비는 비용 효율적인 방식으로 특수 부품을 성공적으로 도금하거나 청소할수 있는 즉,...
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  • 구리 박막을 이용하는 전자산업 분야에서는 소재의 안정성, 성능 및 사용수명의 향상이 요구되고 있다. 본 연구에서는 가속제, 감속제, C1- 이온을 첨가한 기본 도금액에 평...